[특징주] 에스앤에스텍, 삼성 시스템반도체 130조 투자에 'EUV' 기술 부각

[프라임경제] 에스앤에스텍(101490)이 삼정전자가 시스템 반도체에 130조원 규모로 투자한다는 소식에 상승세다.

25일 오전 9시15분 현재 에스앤에스텍은 코스닥시장에서 전일대비 3.29% 오른 6900원에 거래되고 있다.

지난 24일 삼성전자는 오는 2030년까지 시스템 반도체 분야 연구개발 및 생산시설 확충에 133조원을 투자한다고 밝혔다. 더불어 향후 화성캠퍼스 신규 EUV(극자외선) 라인을 활용해 생산량을 증대하고, 국내 신규 라인 투자도 지속 추진할 계획이라고 전했다.

현재 EUV 장비 공급은 네덜란드 반도체 장비기업인 ASML이 독점하고 있으며, 삼성전자와 대만 TSMC가 ASML의 최대 고객사다.

이번 소식으로 EUV용 펠리클을 개발한 에스앤에스텍이 주목받고 있다. 에스앤에스텍은 EUV 노광장비에서 사용되는 포토마스크 오염을 방지해 EUV 노광장비의 생산효율을 높일 수 있는 EUV용 펠리클을 개발했다. 

이에 지난해 9월 미국 EUVL 심포지움에서 대면적 풀 사이즈 사양에 만족하는 시제품을 발표한 바 있다. 제품 투과율도 88%까지 향상됐으며, ASML과 공급 관련 협의를 진행 중인 것으로 알려졌다.

한편, EUV는 반도체 회로를 그리는 노광공정에 사용돼 반도체 성능과 생산 효율을 높일 수 있는 미세공정 구현에 유리한 신기술이다. 펠리클은 EUV를 이용한 생산공정에서 필요한 핵심 부품 가운데 하나다.