SK하이닉스, 반도체 업계 최초 네온 가스 재활용 기술 개발

[프라임경제] SK하이닉스(000660)는 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온(Ne) 가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다.

최근 국제 정세 불안으로 네온의 수급 불확실성이 커지고 있는 가운데 국내 소부장(소재·부품·장비) 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나선 지 1년여 만이다.

네온 가스 재활용 과정. ⓒ SK하이닉스

네온은 희귀 가스 중 하나로, 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스(Excimer Laser Gas)의 주요 성분이다. 특히 네온은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징 때문에 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등의 분리·정제만 거치면 재활용이 가능하다.

양사는 노광공정 이후에 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 이같이 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 사용된다는 설명.

SK하이닉스에 따르면 현재 네온 회수율은 72.7%에 이른다. 회사는 앞으로 정제수율을 지속 개선해 네온 회수율을 77%까지 높일 계획이다.

또 네온 재활용 기술이 반도체 팹(반도체 생산시설)에 적용될 경우 연간 400억원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다고 밝혔다. 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량(스코프3)을 1만2000t(톤)CO2e/yr가량 줄이는 효과도 창출할 것으로 보인다.

네온 재활용 기술 개발을 주도한 SK하이닉스 탄소관리위원회 소재 재활용 분과는 반도체 공정에서 화학적으로 분해·변형되지 않는 모든 소재의 재활용을 최종 목표로 삼고 있다. 특히 오는 2025년까지 네온, 중수소, 수소, 헬륨 등 4개 가스 소재와 황산 등 화학 소재를 비롯해 총 10개 원자재의 재활용 기술을 개발할 계획이다.

SK하이닉스 관계자는 "해외 의존도가 높은 소재의 수급 문제를 해결하고, 반도체 제조 전반의 밸류체인에 걸쳐 배출되는 온실가스를 감축해 회사의 경쟁력을 높이고 환경 문제 해결에 기여하겠다"며 "앞으로도 전문성을 갖춘 협력사들과의 파트너십을 더욱 발전시켜 나갈 계획"이라고 말했다.

한편 SK하이닉스는 지난 2월 '재활용 소재 사용 중장기 로드맵'을 발표하고, 2025년까지 재활용 소재 비율을 25%, 2030년까지 30% 이상으로 늘리겠다는 목표를 밝힌 바 있다.