[카드] 신성이엔지, '반도체 대전'서 클린룸 장비 대거 선봬

FFU 국산화로 산업 발전 기여…첨단제조업 공기 제어 선도

[프라임경제] 신성이엔지(011930)는 오는 27일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 '제25회 반도체 대전(SEDEX2023)'에 참가한다고 26일 밝혔다.

1977년 설립된 신성이엔지는 반도체 클린룸 분야를 선도해온 기업이다. 지난 1991년 국내 최초로 클린룸 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit)를 국산화했다. 클린룸은 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간을 말한다.

이번 전시회에서는 FFU 외에도 △기류 연동 시스템 △휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) △핸디형 미립자 가시화 시스템 등이 소개된다. 두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, FAB 내 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.