이지숙 기자 기자 2017.09.04 14:27:34
[프라임경제] 싸이맥스(160980)는 EFEM(반도체 이송장비) 제조공정방법 및 제조공정설비에 대해 특허권을 취득했다고 4일 공시했다. 싸이맥스 측은 "특허기술을 적용해 제조공정의 효율성 증대를 기대한다"고 밝혔다.