[공시] 테스, 반도체 장비 적용 가능 특허 취득

[프라임경제] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 '가스공급부 및 이를 구비한 박막증착장치' 특허를 취득했다고 9일 공시했다.

회사 측은 "본 특허 관련 기술을 R&D 활동에도 응용해 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 말했다.