[공시] 싸이맥스, N2 퍼지 노즐 특허취득

[프라임경제] 싸이맥스(160980)는 솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐에 대한 특허권을 취득했다고 2일 공시했다. 

이번 특허는 반도체 웨이퍼 처리 장치 중 FOUP(Front Opening Unified Pod)에  N2 퍼지 노즐을 일체로 작동될 수 있도록 솔레노이드를 결합시키는 기술이다. 회사 측은 "이번 특허 기술을 적용해 제품경쟁력을 강화하겠다"고 말했다.