[공시] 테스, 박막증착장치 관련 특허권 취득

[프라임경제] 테스(095610)는 6일 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.

이번 특허는 디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술이며, 기판에 박막을 형성하기 위한 각종 공정가스의 복잡한 제어 및 구성을 필요로 하지 않게 돼 기존에 비해 단순한 구성으로 박막을 증착할 수 있다.