[프라임경제] 반도체·태양전지 제조장비 전문기업 제우스(079370·대표이사 이종우)가 반도체용 매엽 고온황산장비(HTS) 개발 및 테스트에 성공해 이달 중 시장 공급에 나선다고 13일 밝혔다. 이번에 새로 개발된 HTS 장비는 반도체 피알 스트립(PR STRIP) 공정에 주로 사용하며 기존 장비에서 흔한 부식 및 역오염을 예방하고 제어할 수 있다.
또 기존 장비가 약품들의 화학적 반응을 통해 약액 온도를 120~150도 사이로 올리는 방식을 쓰면서 다량의 화학 약품이 사용되는 만큼 환경문제에 취약했으나 이 같은 우려도 덜 수 있게 됐다.
제우스가 개발한 HTS는 IR 히터(Heater)를 사용해 웨이퍼(wafer) 온도를 200도 이상으로 순간 가열해 케미칼 소모량을 30% 이하로 감소시켰다. 이를 통해 공정시간을 단축한 것은 물론 환경오염에 대한 우려도 크게 줄어들 전망이다.
회사 관계자는 “앞으로 메모리 공정뿐 아니라 시스템 LSI 공정 등 다양한 작업에 확대 적용이 가능할 것" 이라며 "일본 자회사인 JET와 협력을 통해 영업적 시너지도 극대화될 것으로 기대하고 있다"고 말했다.
한편 제우스는 최근 연구개발(R&D) 투자비율 4.5%이상으로 확대했으며 관련 장비 개발에 박차를 가하고 있다.
