EZ EZViwe

쎄미시스코, 특허기술상 충무공상 수상 기업 선정

'기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법'…유리기판의 평탄도 검사 가능

이정하 기자 기자  2012.05.30 11:18:32

기사프린트

[프라임경제] 반도체와 디스플레이 공정진단 및 검사시스템 전문기업 쎄미시스코(136510·대표이사 이순종)가 2012년 특허기술상에서 충무공상 수상 기업으로 선정됐다고 30일 밝혔다.

특허청과 중앙일보가 공동 주관하는 특허기술상은 개발이 완료돼 특허청에 등록된 우수한 발명 또는 디자인을 대상으로 주어지는 상으로, 대상인 세종대왕상과 충무공상, 정약용상, 지석영상, 장려상으로 구분된다. 쎄미시스코의 이순종 대표 외 3명이 이 중 충무공상을 수상하게 됐으며 내달 21을 수상식이 진행될 예정이다.

쎄미시스코의 이번 수상은 '기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법'이라는 특허로, 유리기판의 평탄도 및 너울 발생 여부를 검사하기 위한 솔루션으로 투과광 투과 시 유리기판 굴곡에 따라 투과광 패턴에 변화가 있음에 착안한 기술이다.

이 기술은 쎄미시스코가 세계 최초로 개발한 기술로 2009년 제품화에 성공해 현재 'EGiS-Wavi'라는 쎄미시스코의 핵심 장비로 자리잡았다. 지난해까지 약 22억원 규모의 매출 성과를 기록했으며 올해에는 기존 매출액의 약 2배에 달하는 40억원 수준의 매출이 예상된다.

또한 테스트를 거쳐 플렉시블한 유리기판의 평탄도 및 너울 검사도 가능한 것으로 입증돼 현재 플렉시블한 투명 박막 유리기판 검사 적용을 위한 기술 업그레이드 및 장비 개발이 진행되고 있다.

이순종 대표는 "EGiS-Wavi 기술을 발판 삼아 플렉시블 디스플레이 검사장비 분야에서도 장비 및 기술의 선점, 국산화를 통해 기술 선도 기업으로서의 지위를 고수하기 위한 연구, 개발에 매진할 것"이라고 말했다.

한편, 기존 LCD 제조사 등 유리기판을 활용하는 제조업체에서는 기판에 생길 수 있는 결점 중 하나인 굴곡에 대해서는 인지하고 있었으나, 이를 정량화하거나 객관적인 판단을 위한 수치로 표현하기 위한 방법을 확보하지 못했었다.

이에 쎄미시스코가 해당 기술을 개발함으로써 품질 평가의 새로운 기준이 됐으며, 현재는 OWI(Optical Waviness Inspector)라는 유리기판 품질 평가의 표준화를 이뤘다.