[프라임경제] 에스엔유프리시젼(080000)은 박막의 두께 및 표면형상을 측정 방법에 대한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.
| 1. 특허명칭 | 두께 또는 표면형상 측정방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 기술은 박막의 두께 및 표면형상을 측정하는 기술로써, 박막층에 입사되는 간섭신호를 획득하여 이미 저장된 샘플신호와 비교하여 박막의 두께 및 형상을 측정하는 기술임. |
| 3. 특허권자 | 에스엔유프리시젼(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2011-01-17 |
| 5. 특허 활용계획 | LCD 및 반도체용 제조장비 |
| 6. 확인일자 | 2011-01-17 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
