[프라임경제] 주성엔지니어링(036930)은 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버에 대한 특허권을 취득했다고 10일 공시했다.
1. 특허명칭 | 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버 |
2. 특허 주요내용 | 본 발명은 로드락 장치에서 기판의 이송속도 한계를 향상시킨 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버에 관한 특허임. |
3. 특허권자 | 주성엔지니어링㈜ |
4. 특허취득일자 | 2011-01-07 |
5. 특허 활용계획 | 당사 반도체, FPD, 태양광 사업의 경쟁력 강화 |
6. 확인일자 | 2011-01-07 |
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기특허는 대만과 중국특허임 |