[프라임경제] 애질런트테크놀로지스코리아(대표 김승렬)는 차세대 반도체 디바이스 모델링 애플리케이션을 위해 멀티 사이트, 멀티 웨이퍼, 자동화된 DC 및 RF 측정 솔루션을 제공하는 집적 회로 특성평가 및 소자 분석 프로그램(IC-CAP)인 WaferPro 소프트웨어를 발표했다.
IC-CAP WaferPro는 사용자가 전자동 및 반자동 프로브 스테이션을 컨트롤 할 수 있으며, 측정 검사 과정이 계획된 설계 프로그램에 의해 자동으로 수행돼 보유하고 있는 하드웨어 측정 장비를 최대한 효율적으로 사용할 수 있다.
또한 최신 스위치 매트릭스 및 감열 솔루션을 지원함으로써 일련의 온도 대에 대한 대역 측정을 자동 조정하며, 온도 변동 시마다 웨이퍼가 자동으로 재정렬돼 엔지니어가 측정 과정을 감시할 필요가 없다.
애질런트는 “디바이스 모델링 복잡성이 계속해서 증가해, 추출 및 검증을 위한 측정 수도 함께 대폭 늘어난다”면서 “IC-CAP WaferPro는 복잡한 테스트 및 검증 환경에서 효율적인 데이터 분석 및 처리를 가능하게 한다. 또한 WaferPro를 필두로 자사의 파라메트릭 검사 시스템은 공정개발 및 생산 환경에서뿐 아니라 디바이스 모델링 랩에서도 그 활용도를 넓히고 있다”고 말했다.
