[프라임경제] 테스(095610)는 8일 하나의 챔버 내에서 복수 기판을 가열 및 냉각해 작업처리량을 극대화할 수 있는 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 공시했다.
회사 관계자는 "장비 제조시 특허기술을 적용해 기술 및 원가경쟁력을 강화할 수 있게 됐다"고 밝혔다.
| 1. 특허명칭 | 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 본 특허에 의하면, 하나의 챔버내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있으므로, 작업처리량을 극대화할 수 있게 된다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-11-08 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-11-08 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
