[프라임경제]테스는 기판가열장치 및 기판가열방법에 관한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다.
| 1. 특허명칭 | 기판가열장치 및 기판가열방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판가열장치 및 기판가열방법에 관한 것으로 복수의 기판을 로딩하여 가열할 수 있게 되므로, 작업처리량을 극대화할 수 있게 된다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-10-18 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-10-18 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
